精密機械加工法是加工精度達到 1微米的機械加工方法。精密機械加工法主要有精車、精鏜、精銑、精磨和研磨等工藝。在嚴格控制的環境條件下，使用精密機床和精密量具和量儀來實現的。加工精度達到和超過 0.1微米稱超精密機械加工法。在航空航天工業中，精密機械加工主要用于加工飛行器控制設備中的精密機械零件，如液壓和氣動伺服機構。
一般用天然單晶金剛石刀具,刀刃圓弧半徑小于0.1微米。在高精度車床上加工可獲得1微米的精度和平均高度差小于0.2微米的表面不平度,坐標精度可達±2微米。精銑：用于加工形狀復雜的鋁或鈹合金結構件。依靠機床的導軌和主軸的精度來獲得較高的相互位置精度。使用經仔細研磨的金剛石刀頭進行高速銑切可獲得精確的鏡面。
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